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レーザ誘起熱亀裂伝搬を用いたレーザ切断サンドイッチ構造ガラスシリコンガラスウエハ【Powered by NICT】
レーザ誘起熱亀裂伝搬を用いたレーザ切断サンドイッチ構造ガラスシリコンガラスウエハ【Powered by NICT】
2017
Cai Yecheng
Wang Maolu
Zhang Hongzhi
Yang Lijun
Fu Xihong
Wang Yang
Keywords:
Optoelectronics
Physics
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