スパッタリングターゲット材、スパッタリングターゲット、スパッタリングターゲット用アルミニウム板及びその製造方法

スパッタリングターゲット材（２）は、純度９９．９９９質量％以上のアルミニウムと、不可避的不純物とから構成されている。板表面（２１）の平均結晶粒径をＤｓ［μｍ］、板厚の１／４の深さ（２２）における平均結晶粒径をＤｑ［μｍ］、板厚の１／２の深さ（２３）における平均結晶粒径をＤｃ［μｍ］としたときに、下記式を満たすとともに、平均結晶粒径が板厚方向に連続的に変化している。Ｄｓ≦２３０Ｄｑ≦２８０Ｄｃ≦３００１．２≦Ｄｑ／Ｄｓ１．３≦Ｄｃ／Ｄｓ