スパッタリングターゲット材、スパッタリングターゲット、スパッタリングターゲット用アルミニウム板及びその製造方法
2018
スパッタリングターゲット材(2)は、純度99.999質量%以上のアルミニウムと、不可避的不純物とから構成されている。板表面(21)の平均結晶粒径をDs[μm]、板厚の1/4の深さ(22)における平均結晶粒径をDq[μm]、板厚の1/2の深さ(23)における平均結晶粒径をDc[μm]としたときに、下記式を満たすとともに、平均結晶粒径が板厚方向に連続的に変化している。Ds≦230Dq≦280Dc≦3001.2≦Dq/Ds1.3≦Dc/Ds
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