露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。 【解決手段】露光装置は、露光液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、射出面と所定部材との間の露光光の光路に配置される仕切部材と、光学部材と仕切部材との間の第１空間に第１クリーニング液体を供給する第１供給口と、仕切部材と所定部材との間の第２空間に第２クリーニング液体を供給する第２供給口とを備える。 【選択図】図１