低介Ba(Al 0.98 Co 0.02 ) 2 Si 2 O 8 -Ba 5 Si 8 O 21 基LTCC微波介质陶瓷的研究

采用传统固相反应法，按摩尔比合成0.7Ba(Al0.98Co0.02)2Si2O8−0.3Ba5Si8O21(BACS-BS)基陶瓷，分析Li2O-B2O3(1wt%)(L-B)烧结助剂对其烧结特性、相组成和微波介电性能的影响，探讨0.7BACS-0.3BS+1wt%(L-B)陶瓷理论与实验介电常数(er)的差异。结果表明：添加1wt%(L-B)烧结助剂能有效降低0.7BACS-0.3BS基陶瓷的烧结温度(950 ℃)，但严重影响其微波介电性能；在950℃烧结的0.7Ba(Al0.98Co0.02)2Si2O8-0.3Ba5Si8O21+1wt%(Li2O-B2O3)陶瓷具有较好的微波介电性能，其er=7.56, Q×f=13 976 GHz, τf=−6.32 ppm/℃；0.7BACS-0.3BS+1wt%(L-B)复合陶瓷与Ag电极有很好的化学相容性，这为其在LTCC技术的应用奠定了良好的基础。