Granulométrie instantanée d'un condensat métallique discontinu déduite de mesures de sa conductance et de son épaisseur

1991 
Resume Durant la formation de condensats metalliques granulaires sur substrats dielectriques, les mesures de leur conductance de couche C c et de leur epaisseur massique w permettent la determination des valeurs moyennes du diametre a des agregats et de leur distance bord a bord s . Cette methode permet une determination des quantites granulometriques sous ultra vide sans perturbation de la croissance du condensat. Le calcul analytique ne peut etre effectue directement. Il doit l'etre par approximations successives. Dans de precedents travaux, nous avons utilise une methode d'optimisation par gradient en calculant la derivee de la fonction C c ( s, a ). L'usage de cette derivee pour determiner les quantites granulometriques d'un condensat durant le processus de deposition engendre des “bruits” et des singularitś qui peuvent donner de mauvaises (ou pas de) solutions. La presente recherche programmee est realisee par une autre methode d'optimisation qui n'utilise pas la derivee mais qui permet, dans ce cas, de trouver la solution la plus correcte. Pour chaque couple experimental des valeurs C c et w , nous definissons une fonction de defauts en ponderant les differences entre les valeurs theoriques et experimentales. Toutes les methodes iteratives ont besoin de valeurs de depart de a et de s pour evaluer la premiere fonction de defauts. Le choix des valeurs de depart est crucial. Pour la premiere mesure ce choix doit etre totalement arbitraire. Pour les autres mesures, nous utilisons la continuite de ces quantites ( s et a ) a l'issue des determinations precedentes de a et de s au cours de la croissance du condensat sous ultra vide. La rapidite et la fiabilite de cette recherche granulometrique programmee sont essentielles pour son utilisation dans le pilotage de la realisation de tels condensats.
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