Façonnage de profil de faisceau à axe rapide par des microlentilles de collimation pour un système de recuit basé sur une diode laser haute puissance

L'invention concerne un appareil de recuit de surface dynamique pour recuire une piece a usiner semi-conductrice. Ledit systeme presente un support de piece a usiner pour supporter une piece a usiner, une source optique et un appareil de balayage pour balayer la source optique et le support de piece a usiner l'un par rapport a l'autre le long d'un axe rapide. La source optique comporte un ensemble d'emetteurs laser agences generalement en rangees successives d'emetteurs, les rangees etant transversales par rapport a l'axe rapide. Plusieurs microlentilles de collimation recouvrent plusieurs rangees respectives des emetteurs et fournissent une collimation le long de l'axe rapide. Les microlentilles selectionnees possedent un angle ou une succession d'angles de deviation optique correspondant aux deviations de faisceau le long de l'axe rapide pour des rangees respectives d'emetteurs. Une optique focalise la lumiere provenant de l'ensemble d'emetteurs laser sur une surface de la piece a usiner pour former une succession de faisceaux rectilignes transverses a l'axe rapide, espaces le long de l'axe rapide conformement a la succession d'angles de deviation.