Puce de reseau de micropuits et son procede de fabrication

2004 
La presente invention a trait a une puce de reseau de micropuits comportant des micropuits dans une surface principale d'un substrat. Chaque micropuits presente une forme et des dimensions telles qu'il contient une unique cellule vivante. Sur la surface principale du substrat ou les ouvertures des micropuits sont prevues, sont disposes des marqueurs pour les micropuits. Une autre puce de reseau de micropuits comporte des micropuits dans une surface principale d'un substrat. Chaque micropuits presente une forme et des dimensions telles qu'il contient une unique cellule vivante. Une portion en saillie retrecissant l'ouverture de chaque micropuits est disposee dans l'ouverture. L'invention a egalement trait a un procede de fabrication d'une puce de reseau de micropuits comprenant les etapes suivantes : la formation d'un film au moins sur une surface principale d'un substrat, l'application d'une reserve au film ainsi forme, l'exposition de la surface de reserve a travers un masque ayant une configuration de micropuits et le retrait de la portion non traitee de la reserve, la realisation d'un orifice en forme de reseau de micropuits par la gravure du film et de la portion exposee du substrat, et l'elimination de la reserve. En outre, une autre puce de reseau de micropuits d'un silicium ayant des micropuits dans chacun desquels est contenue une cellule vivante d'un sujet. Chaque micropuits presente une forme et des dimensions telles qu'il contient une unique cellule vivante.
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