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Efectos de los plasmas de oxígeno-freon para la eliminación de resinas sobre silicio y dióxido de silicio
Efectos de los plasmas de oxígeno-freon para la eliminación de resinas sobre silicio y dióxido de silicio
1987
Enric Cabruja Casas
Carles Cané Ballart
Manuel Lozano Fantoba
Carlos Domínguez Horna
Emilio Lora-Tamayo D’Ocón
Francesc Serra Mestres
Keywords:
Physics
Freon
Analytical chemistry
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