半導体装置、電子デバイス、及び、半導体装置の製造方法
2011
【課題】 より信頼性の高いCu−Cu接合界面を有する半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体装置1を、第1の配線18を含む第1半導体部10と、第1半導体部10と貼り合わせて設けられ、第1の配線18と電気的に接合された第2の配線28を含む第2半導体部20とを備える構成とする。さらに、半導体装置1は、酸素に対して水素よりも反応し易い金属材料と酸素とが反応して生成された金属酸化物17bを備える。そして、この金属酸化物17bを、第1の配線18及び第2の配線28の接合界面Sj、並びに、第1の配線18及び第2の配線28の少なくとも一方の内部を含む領域に拡散させた構成とする。 【選択図】 図4
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