Procede et systeme servant a reguler la temperature d'un support electrostatique

L'invention concerne un procede et un systeme servant a reguler la temperature d'un substrat (110) retenu par un support electrostatique (112), ce qui consiste a soumettre a des variations la tension alimentant l'electrode ou les electrodes (108) de ce support electrostatique. On diminue la tension afin d'augmenter l'espace (116) entre la tranche et le support et on augmente la tension afin de diminuer cet espace. On modifie en consequence les vitesses de transfert thermique par rayonnement, conduction et convection. Un gaz de transfert thermique alimente, de preference, l'espace et est maintenu a une pression relativement constante. On peut modifier de facon independante la pression du gaz de transfert thermique simultanement a la tension de support, de maniere a obtenir un niveau supplementaire de regulation de temperature. Dans un autre mode de realisation, on peut modifier la pression du gaz de transfert thermique en reaction aux dimensions de l'espace. On peut effectuer cette modification de la tension de support et/ou de la pression du gaz de transfert thermique en reponse a une retroaction de donnees de mesures parametriques emanant du substrat.