プローブカード、およびこれを用いた直流特性測定方法、および半導体装置

【課題】 高周波用半導体装置の直流特性測定において、プローブピンに流れる電流の発振を抑制し、測定再現性および測定精度を向上させる。 【解決手段】 ウェハチャック２の上に固定されたウェハ１の直流特性測定において、プローブカード５の裏面にグラウンド接触ピン９を設けて、その下端部をウェハチャック２と接触させる。 プローブカード５をこのような構造とすることにより、プローブピン４ｂからウェハチャック２に至る配線を短くすることができる。これにより、プローブピン４ｂとウェハチャック２とを低インピーダンスで接続できる。従って、プローブピン４ｂに流れる電流の発振を防ぎ、測定再現性および測定精度を向上させることができる。 【選択図】 図１