Verfahren zum Herstellen einer Elektrode für einen Bulk-Akustik-Resonator

In einem Ausfuhrungsbeispiel, wird ein Verfahren des Herstellens eines Resonators in Dunnfilm-Technologie beschrieben. Der Resonator weist eine piezoelektrische Schicht auf, welche zumindest teilweise zwischen einer unteren Elektrode und einer oberen Elektrode angeordnet ist, wobei der Resonator uber einem Substrat gebildet ist. Das Verfahren weist auf: Ausbilden der unteren Elektrode des Resonators uber dem Substrat; Aufbringen und Strukturieren einer Isolationsschicht uber dem Substrat, wobei die Isolierschicht eine Dicke hat, die im Wesentlichen gleich einer Dicke der unteren Elektrode ist; Entfernen eines Abschnitts der Isolierschicht, um eine Oberflache der unteren Elektrode teilweise zu exponieren; Entfernen eines Abschnitts der Isolierschicht uber der Oberflache der unteren Elektrode mittels chemisch mechanischen Polierens; Ausbilden der piezoelektrischen Schicht uber der unteren Elektrode; und Produzieren der oberen Elektrode auf der piezoelektrischen Schicht.