容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置

(57)【要約】 【課題】 デッドスペースを生じることなく多数のキャ リアカセットを収容できる容器載置ユニットやそのよう な容器載置ユニットを備えた処理装置を提供する。 【解決手段】 キャリアカセットＣＲからウエハＷを出 し入れするホームアクセス位置と、外部搬送装置との間 でキャリアカセットＣＲを搬出入するカセット載置部２ ０とを別個に設ける。それにより従来よりよけいにキャ リアカセットＣＲを収納できるようにしてキャリアカセ ットＣＲの収納能力を向上させる。その結果容器載置ユ ニット３０の幅を処理ユニット群を収容したスペースの 幅と一致させることができるのでデッドスペースがなく なり、スペース効率が向上する。