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다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
2000
Jingzhu Cai
한승오
hezhongmin
Shengyu Wen
puzhenghao
Keywords:
Engineering
Mechanical engineering
Construction engineering
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