Verfahren und Vorrichtung für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern sowie Verwendung der Vorrichtung

Vorrichtung zur Innenbeschichtung eines Behalters (1) mittels plasmaunterstutzter chemischer Gasphasenabscheidung eines Reaktionsproduktes, wobei der zu beschichtende Behalter (1) einen sich zu einer Offnung (5) verengenden Halsbereich aufweist, – mit Mitteln zur Erzeugung eines Vakuums im Behalter (1), – mit einer durch die Offnung (5) des Behalters (1) einfuhrbaren, stabformigen Gaslanze (2) zum Einbringen von Prozessgas in den Behalter (1) und – mit Mitteln zur Anregung des Plasmas, dadurch gekennzeichnet, dass – die Gaslanze (2) einen auf der Lanzenachse verlaufenden Hauptkanal (3) mit der Lange l 1 aufweist, wobei der Hauptkanal (3) am Lanzenende in eine Gasaustrittsoffnung (6) mundet, und – die Gaslanze (2) mindestens einen vom Hauptkanal (3) abzweigenden Seitenkanal (4) mit der Lange l 2 aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Seitenkanal (4) oder die Seitenkanale (4) im spitzen Winkel zur Lanzenachse in Einstromungsrichtung verlaufen.