Système d’implantation d’ions à balayage mécanique multiaxe multidirectionnel à faible inertie

L'invention concerne un systeme d’implantation d’ions configure de facon a produire un faisceau d’ions, un poste d’extremite presentant une architecture robotique possedant au moins quatre degres de liberte. Un effecteur terminal couple fonctionnellement a l’architecture robotique saisit selectivement et translate une piece de travail a travers le faisceau d’ions. L’architecture robotique comporte une pluralite de moteurs couples fonctionnellement au poste d’extremite, chacun d’eux etant dote d’un arbre rotatif. Au moins une partie de chaque arbre rotatif se situe generalement a l’interieur du poste d’extremite, et chaque moteur de la pluralite de moteurs se voit respectivement associer un ensemble de transmission, chaque ensemble de transmission comprenant respectivement un maneton et une bielle. Le maneton de chaque ensemble de transmission est en liaison encastrement avec l’arbre rotatif correspondant et la bielle de chaque ensemble de transmission est en liaison pivot avec le maneton correspondant au niveau d’une premiere articulation, et en liaison pivot avec l’effecteur terminal au niveau d’une deuxieme articulation.