Procedes de traitement humide pour la fabrication de composants electroniques

La presente invention concerne des procedes de traitement humide pour la fabrication de precurseurs de composants electroniques, tels que des plaquettes a semiconducteurs utilisees dans des circuits integres. Plus particulierement, cette invention concerne des procedes de fabrication de precurseurs de composants electroniques utilisant des techniques de traitement humide qui permettent d'obtenir une repartition uniforme des flux sur les plaquettes espacees d'un tiers et d'un quart de pas.