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I. Physikalisches Institut der Justus-Liebig-Universität, Gießen Hydrogénation of Reactively Sputtered AlNxOy Films
I. Physikalisches Institut der Justus-Liebig-Universität, Gießen Hydrogénation of Reactively Sputtered AlNxOy Films
1990
V. Grafe
D. Schalch
A. Scharmann
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