ESTRUCTURA DE PELÍCULAS DELGADAS SUPERCONDUCTORAS DE YBaCuO PREPARADAS POR PLD (DEPOSICIÓN POR LÁSER PULSADO)

Se depositaron peliculas delgadas superconductoras de YBa_2 Cu_3 O_(7-3) (YBCO), utilizando la tecnica de deposicion por laser pulsado (PLD: Pulsed Laser Deposition), sobre substratos monocristalinos de SeTiO3, MgO y Si con orientacion (100). La utilizacion de estas peliculas en dispositivos electronicos requiere de un buen control del crecimientoepitaxial y de la calidad de la microestructura. En este trabajo se estudio la influencia de la presion de oxigeno durante el crecimiento, sobre la topografia de la superficie, el grado de orientacion y la microestructura de las peliculas en relacion con las propiedades de transporte de las mismas. Se utilizo un laser excimero (XeCl -308 nm) pulsado con una frecuencia de 4 Hz. Para el analisis de la microestructura de las peliculas se utilizaron las tecnicas de Difraccion de Rayos X (DRX), Microscopio Electronica de Barrido (MEB) y Microscopia de Fuerza Atomica (MFA). Los resultados muestran una correlacion entre la microestructura y las propiedades superconductoras, encontrandose un valor optimo de presion de oxigeno en la camara durante el crecimiento.