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ポーラスSiOCH low-k膜へのH 2 /N 2 プラズマアッシングダメージ発生機構の解明
ポーラスSiOCH low-k膜へのH 2 /N 2 プラズマアッシングダメージ発生機構の解明
2009
Yamamoto Hiroshi
Takeda Keigo
Sekine Makoto
Hori Masaru
Kaminatsui Takeshi
Yamamoto Katsumi
Hayashi Hisataka
Sakai Itsuko
Oiwa Tokuhisa
Keywords:
thesaurus
Information retrieval
Computer science
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