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高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による Ta/Mo 薄膜の形成
高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による Ta/Mo 薄膜の形成
1994
takesi tanaka
takanori hara
ryuuzi sijou
kazuhiro nakamoto
miyuki mori
syuu kazioka
takasi kawabata
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