Système optique d'éclairage, dispositif d'exposition, procédé de fabrication de dispositif, filtre de correction et système optique d'exposition

L'invention porte sur un systeme optique d'eclairage pour eclairer des plans a eclairer (M ; W) par de la lumiere provenant d'une source de lumiere (1), lequel systeme comprend : des systemes optiques de formation de distribution (3, 4, 7, 8) ayant un integrateur optique (8) et formant une distribution d'intensite de pupille sur une pupille d'eclairage au niveau du cote arriere de l'integrateur optique ; et des moyens de reduction de lumiere (9) agences sur un plan predetermine d'un trajet optique du cote arriere de l'integrateur optique et ayant un rapport de reduction de lumiere variant en fonction de l'angle d'incidence sur le plan predetermine.