Device and method for temperature-compensated interferometric distance measurement during laser machining workpieces

Bei einer Vorrichtung (3) zur Messung des Abstands (A) zwischen einer reflektierenden Werkstuckoberflache (2a) eines Werkstucks (2) und einer reflektierenden Referenzflache (4) bei der Laserbearbeitung des Werkstucks (2) weist ein Interferometer (5) einen Strahlteiler (6), der Interferometerlicht (7) auf einen Messarm (9) als Messstrahl (10) und auf einen Referenzarm (11) als Referenzstrahl (12) aufteilt, und einen Detektor (13) auf, der den an der Werkstuckoberflache (2a) reflektierten Messstrahl (10) und den an der Referenzflache (2b; 4) reflektierten Referenzstrahl (12) detektiert, wobei der Messarm (9) und der Referenzarm (11) innerhalb der Koharenzlange des Interferometerlichts (7) gleich lang sind und wobei erfindungsgemas der Messarm (9) eine Messfaser (14) und der Referenzarm (11) eine Referenzfaser (15) aufweisen und die Messfaser (14) und die Referenzfaser (15) auf ihrer gesamten Lange oder einer Teillange, insbesondere bei unterschiedlich langen Fasern (14, 15) auf der gesamten Lange der kurzeren Faser, parallel nebeneinander verlaufen und in thermischem Kontakt miteinander stehen.