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原子層堆積を用いたMoSi 2 薄膜のウエハスケールと共形成長
原子層堆積を用いたMoSi 2 薄膜のウエハスケールと共形成長
2014
Jang Yujin
Kim Soo-Hyun
Cheon Taehoon
Kim Eok-Su
Kwon Jang Yeon
Yang Suk
Choi Sang-Kyung
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