Objectif de projection catadioptrique

2005 
Objectif de projection catadioptrique (200) servant a prendre l'image d'une configuration situee dans un plan (201) d'objet de l'objectif de projection sur un plan (202) d'image dudit objectif. Ce dernier comprend une premiere partie d'objectif (210) servant a prendre l'image de la configuration placee dans le plan d'objet en une premiere image intermediaire, une deuxieme partie d'objectif (220) servant a prendre l'image de la premiere image intermediaire afin d'obtenir une deuxieme image intermediaire, une troisieme partie d'objectif (230) servant a elaborer l'image de la deuxieme image intermediaire directement sur le plan d'image. Un premier miroir concave (221) possedant une premiere surface continue et au moins un deuxieme miroir (222) concave possedant une deuxieme surface continue sont situes en amont de la deuxieme image intermediaire; des surfaces de pupille sont placees entre le plan d'objet et la premiere image intermediaire, entre la premiere et la deuxieme image intermediaire et entre la deuxieme image intermediaire et le plan d'image, ces miroirs concaves etant situes a distance d'une surface de pupille. Ce systeme possede une capacite elevee de nombreuses ouvertures numeriques, tout en ne consommant que moderement des materiaux d'objectif.
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