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P10~P27 통계적 품질경영/품질 선진 기법 : P111. ; 반도체 공정의 품질 특성치 예측을 위한 벌점화 축소추정 기법 기반의 가상 계측 모델
P10~P27 통계적 품질경영/품질 선진 기법 : P111. ; 반도체 공정의 품질 특성치 예측을 위한 벌점화 축소추정 기법 기반의 가상 계측 모델
2015
박찬희(Chan Hee Park)
김성범 ( Seoung Bum Kim )
Keywords:
Feature selection
Semiconductor device fabrication
Virtual metrology
Manufacturing engineering
Engineering
Engineering drawing
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