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310 圧電薄膜を用いた流路壁面振動送液デバイスの特性評価(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
310 圧電薄膜を用いた流路壁面振動送液デバイスの特性評価(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
2008
junya ogawa
takaaki suzuki
i saku kanno
hidetosi kodera
Keywords:
Microchannel
Analytical chemistry
Micropump
Materials science
Acoustics
traveling wave
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