ウエハの位置検出装置、ウエハの位置検出方法、及び記憶媒体

【課題】切り欠きを備えないウエハにおいてウエハの位置を検出するためのウエハの位置検出装置などを提供する。 【解決手段】ウエハＷの位置検出装置２において、載置台２１には、裏面に複数のドットからなる位置合わせ用のマークＭが形成されたウエハＷが載置され、回転機構２２、２３は当該載置台２１を回転させる。光照射機構３は、載置台２１を回転させたときに、マークＭが通過する領域に光照射領域を形成し、ラインセンサー４は、光照射領域に照射された光の反射光を受光する受光領域が、ウエハＷの中央部側から外側に向かって伸びるように設けられている。データ処理部５、４０１は、ウエハＷを１回転させたときに、回転方向の位置とラインセンサー４により得られた輝度とを対応付けたデータに基づいてウエハの向きを検出する。 【選択図】図１