ВЛИЯНИЕ ВЕЛИЧИНЫ НАТЕКАНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ НА ПАРАМЕТРЫ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЯ ОКСИДА ТИТАНА
2019
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI