The light source and the exposure device Euv

一种EUV光源和曝光装置，其中所述EUV光源，包括：液滴阵列，包括沿扫描方向排布的若干喷嘴，适于依次向下方的辐射位置喷吐液滴；激光源，适于产生第一激光束和第二激光束，并使第一激光束和第二激光束分别沿扫描方向扫描，交替的轰击到达辐射位置的不同排的液滴，形成辐射极紫外光；聚光镜和第一驱动装置，第一驱动装置驱动所述聚光镜旋转扫描，收集的极紫外光汇聚于中心焦点，聚光镜包括上部分聚光镜和下部分聚光镜，上部分聚光镜包括至少两个第一子聚光镜，下部分聚光镜包括至少两个第二子聚光镜，每个第一子驱动装置与一个第一子聚光镜连接，每个第二子驱动装置与一个第二子聚光镜连接。 本发明的EUV光源输出的极紫外光的功率增加。