ネガ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法、液体吐出ヘッド

2011 
【課題】液体吐出記録方式に用いるインク小滴等の液滴を発生するための液体吐出ヘッドの製造に好ましく用いることのできるネガ型感光性樹脂組成物の提供。 【解決手段】カチオン重合可能な化合物と、アニオン部とカチオン部とを有する、少なくとも一つの光酸発生剤と、4級アンモニウム構造と4級ホスホニウム構造とのうちのいずれかを有するカチオン部と、アニオン部と、を有する塩と、を含み、前記塩のアニオン部は、前記光酸発生剤のアニオン部由来の第1の酸中の前記アニオン部と入れ替わって前記第1の酸の酸強度より酸強度が小さい第2の酸を形成することが可能である感光性樹脂組成物。 【選択図】図2
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