MIM 커패시터에서의 정합특성의 온도에 대한 의존성

본 논문에서는 절연물체로 Si3N4를 사용한 MIM 커패시터의 정합특성의 온도에 대한 의존성에 대해 분석하였다. 온도가 올라감에 따라 정합특성이 열화 되는 현상이 나타났다. 즉, 25 ℃, 75 ℃ 그리고 125 ℃에서 Si3N4 MIM 커패시터의 정합특성 계수는 각각 0.5870, 0.6151, 0.7861 %μm으로 측정 되었다. 이러한 현상은 온도가 증가함에 따라 커패시터 내부의 캐리어들의 이동도가 감소하고 전하의 농도가 많아지기 때문이라고 할 수 있다. 따라서 고온에서의 Si3N4 MIM 커패시터의 정합특성의 분석은 아날로그 집적회로나 SoC (System on Chip)에 아주 중요하고 필수적인 연구라고 할 수 있다.