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プラズマエッチング耐性に優れる新規セラミックスの材料開発と実用化 (小特集 半導体デバイスの製造品質を裏から支えるプロセスプラズマの隠れた技術)
プラズマエッチング耐性に優れる新規セラミックスの材料開発と実用化 (小特集 半導体デバイスの製造品質を裏から支えるプロセスプラズマの隠れた技術)
2020
yuuzi kasa sima
fumihiko uesugi
Keywords:
Corrosion
Metallurgy
Plasma etching
Materials science
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