ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ОСАЖДЕНИЕМ УГЛЕРОДА В ПЛАЗМЕ МЕТАНА И ПОСЛЕДУЮЩЕЙ ТЕРМООБРАБОТКИ OPTICAL PROPERTIES OF THIN FILMS FORMED BY CARBON DEPOSITION IN METHANE PLASMA AND SUBSEQUENT ANNEALING
2020
Keywords:
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI