光減衰器デバイス、放射システム、及び、それらの付属するリソグラフィ装置、及び、デバイス製造方法

【課題】ビームの中心線に対して対称であり、ビームの中心部分に存在する１つ又は複数の光減衰器要素を提供すること。 【解決手段】光減衰器デバイスは少なくとも１つの光減衰器要素を使用して平均強度より高い強度を有する放射のビームの一部を取り除くように動作する。デバイスは、放射システム及び／又はリソグラフィ装置、特に走査型リソグラフィ装置における応用例を有し、光減衰器要素は、ビームの中心部分に、例えば走査方向に垂直に設けられている。 【選択図】図２