Apparatus for transfering substrate and processing substrate

본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 특히 기판 처리 시에 기판을 이송시켜 기판상에 박막을 결정화시키는 기판 처리 장치이다. 본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는 에어 베어링에 의해 슬라이딩되는 이송대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다. 또한 본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는, 제1축 방향으로 놓여 이격된 한 쌍의 가이드 레일과, 상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제1축 이송대와, 상기 제1축 이송대의 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대와, 상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드와, 상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다.