多軸リニアモータ、及び該多軸リニアモータを利用する実装ヘッド、部品実装装置、並びに磁力遮蔽材及び磁力遮蔽方法

【課題】 隣接するリニアモータ間での磁力による相互作用の弊害を抑制する磁力遮蔽手段を含む多軸リニアモータ、実装ヘッド、部品実装装置を提供する。 【解決手段】 多軸リニアモータの内、隣接するリニアモータ４０同士の間での磁石又は電磁石からの磁力線の相互作用を回避する磁力遮蔽手段６０を、前記隣接するリニアモータ４０同士の間に設ける。リニアモータ４０の一方の側のみが他のリニアモータ４０と隣接し、他方の側には他のリニアモータ４０と隣接していない場合、前記他方の側にも磁力遮蔽手段６０を備える。磁力遮蔽手段６０は強磁性体材料、より具体的には鉄板とすることができる。また、磁力遮蔽手段６０を予め一体に成形したユニット型のリニアモータ４０１〜４０３とすることができる。この際、磁力遮蔽手段６０は、リニアモータ４０の軸に垂直な断面で見た場合に矩形状、円形状に配置することができる。 【選択図】 図９Ｂ