A method for determining the end point of a planarization process and apparatus for planarizing a substrate

Verfahren zum Bestimmen eines Endpunkts eines Planarisierungsprozesses, umfassend: Bereitstellen eines Planarisierungsgewebes (202) mit einem darauf festgelegten Planarisierungsgebiet (214), wobei das Planarisierungsgewebe (202) bewegt werden kann, um einen Teil des Planarisierungsgewebes (202) aus dem Planarisierungsgebiet (214) heraus und einen anderen Teil des Planarisierungsgewebes (202) in das Planarisierungsgebiet (214) hinein zu bewegen, selektives Abtasten eines Signals zur Endpunktdetektion an mindestens einer vorher festgelegten Stelle (X; X1) auf dem Planarisierungsgewebe (202) im Planarisierungsgebiet (214) und Stoppen der Planarisierung eines Substrats (213), falls ein Kriterium fur den Endpunkt auf der Basis des Signals zur Endpunktdetektion detektiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Signal zur Endpunktdetektion an spezifischen Teilen auf dem Planarisierungsgewebe (202) gemessen wird und dass das selektive Abtasten des Signals zur Endpunktdetektion das selektive Aktivieren des Abtastens unter Verwendung eines Positionssensors umfast, wobei der Positionssensor das Abtasten selektiv aktiviert, wenn das Substrat (213) die vorher festgelegte Stelle (X; X1)...