금속 나노 홀 어레이에 의한 표면 플라즈몬 현상을 이용한 금속 막 구조 투명 자석 및 금속 막 구조 투명 자석 제작 방법
2015
기판 상의 레지스트 층을 노광하여 나노 홀 패턴을 패터닝하는 단계;상기 나노 홀 패턴이 패터닝된 상기 기판 상의 레지스트 층에, 한층 이상의 금속 막을 증착하는 단계;자기장에 노출시켜, 상기 나노 홀 패턴에 의한 적어도 하나의 나노 홀 어레이를, 상기 한층 이상의 금속 막에 형성하는 단계; 및상기 나노 홀 어레이로 광을 입사하여 표면 플라즈몬을 발생시켜, 상기 표면 플라즈몬에 의해, 상기 한층 이상의 금속 막이 광투과성을 갖도록 하는 단계를 포함하는 금속 나노 홀 어레이에 의한 표면 플라즈몬 현상을 이용한 금속 막 구조 투명 자석 제작 방법.
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