Etape de rinçage amelioree dans un traitement supercritique

L'invention concerne un appareil servant a eliminer un residu de la surface d'un objet place sur une zone de support a l'interieur d'une chambre de traitement. Cet appareil comprend un moyen servant a effectuer un processus de rincage a double pression, et un moyen servant a effectuer une serie de cycles de decompression. Le moyen servant a effectuer un processus de rincage a double pression comprend: un moyen servant a pressuriser la chambre de traitement a une premiere pression; un moyen servant a introduire une composition chimique de rincage dans la chambre de traitement; un moyen servant a faire recirculer la composition chimique de rincage dans la chambre de traitement pendant une premiere duree; un moyen servant a augmenter la pression de la chambre de traitement jusqu'a une deuxieme pression; et un moyen servant a faire recirculer la composition chimique de rincage dans la chambre de traitement pendant une deuxieme duree.