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Formation de particules et de dépôts dans des décharges RF (13,56 MHz) de méthane
Formation de particules et de dépôts dans des décharges RF (13,56 MHz) de méthane
2017
William Desdions
Isabelle Géraud-Grenier
Francois Faubert
Maxime Mikikian
Véronique Massereau-Guilbaud
Keywords:
Methane
Nuclear chemistry
Chemistry
Chemical engineering
Materials science
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