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Acemap > Paper > 기판 바이어스 인가에 따른 나노결정질 TiN 코팅 막의 미세구조와 기계적 성질변화

기판 바이어스 인가에 따른 나노결정질 TiN 코팅 막의 미세구조와 기계적 성질변화

2010 
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