Aktuator mit mindestens einem magneten für eine projektionsbelichtungsanlage und herstellungsverfahren hierfür, sowie projektionsbelichtungsanlage mit einem magneten

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aktuator fur Projektionsbelichtungsanlagen mit mindestens einem Magneten (22), wobei der Magnet gekapselt und/oder in einer Magnethalteplatte (12) gelagert ist, die durch mikrotechnische Herstellungsverfahren derart hergestellt ist, dass die bewegliche Manipulatorflache (23) uber einstuckige oder stoffschlussige Verbindungen ohne zusatzlichen Verbindungsstoff in der Magnethalteplatte gehalten ist, so dass eine sichere Verbindung gegeben ist.