The organic thin film transistor and a manufacturing method thereof, and an active matrix type display and the wireless identification tag using the same
2004
本発明の有機薄膜トランジスタは、基板(11)と、基板(11)上に設けられた有機半導体からなる半導体層(14)とを有し、半導体層(14)は、前記有機半導体の結晶から構成され、前記結晶の結晶相は、前記有機半導体のエネルギー的に最安定なバルク結晶の結晶相と同一である。 また、本発明の有機薄膜トランジスタの製造方法は、基板(11)上に有機半導体を蒸着して半導体層(14)を形成する有機薄膜トランジスタの製造方法であって、前記有機半導体を蒸着する際、基板(11)の温度を40〜150℃の範囲に保持し、0.1〜1nm/分の蒸着速度で蒸着することを特徴とする。
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