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オゾン酸化による薄い酸化膜の形成〔英文〕 (電子材料技術の新展開 )
オゾン酸化による薄い酸化膜の形成〔英文〕 (電子材料技術の新展開 )
1995
tosirou nakanisi
Yasuhisa Sato
Masaki Okuno
Kanetake Takasaki
Keywords:
Atmospheric sciences
Materials science
Time-dependent gate oxide breakdown
Ozone
Environmental science
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