Verfahren zum herstellen von mikrolochstrukturen

Bei einem neuen Verfahren zur Herstellung von Mikrolochstrukturen wird das hierfur verwendete Material durch Schragbeschichtung auf eine mit einer Reliefstruktur versehene Oberflache eines Substrats aufgebracht. Fur die Erzielung des gewunschten Lochmuster weist die Reliefstruktur ein zusammenhangendes Netz aus ersten Oberflachenteilen, deren lokale Flachennormalenvektoren mit dem Einheitsvektor der Oberflache einen kleinen Winkel einschliessen, and zwischen den ersten Oberflachenteilen zweite Oberflachenteile, deren lokale Flachennormalenvektoren mit dem Richtungsvektor der Beschichtung einen kleinen Winkel einschliessen, auf.