PLD法制备薄膜Ba0．85Ca0．15Ti0．9Zr0．1O3及其性能研究

本文采用传统的高温固相反应法制备Ba0．85Ca0．15Ti0．9Zr0．1O3（BCTZ）陶瓷靶材，并利用脉冲激光沉积（PLD）法，在生长有SrRuO，底电极的SrTiO，（100）衬底上沉积BcTZ（BcTZ／SRO／STO）薄膜。通过对其生长工艺的探索，在沉积温度780℃，氧压13Pa，靶间距48mm，脉冲激光频率2Hz,激光能量200mJ的条件下可获得高择优取向、高结晶度的BCTZ薄膜。在此工艺条件下。制备不同膜厚的BcTZ薄膜。进一步利用x射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、台阶仪、铁电测试仪等手段对薄膜的微观结构、厚度和铁电性能进行表征分析。结果表明，所制备薄膜的表面粗糙度随着薄膜厚度的增加而变大。薄膜的铁电性呈现出与薄膜厚度的强相关性，即随着薄膜厚度的增加，BCTZ薄膜的剩余极化值（2Pr）逐渐增大，矫顽场强度（Ec）逐渐减小。