脉冲激光沉积法制备Bi 2 Sr 2 Co 2 Oδ热电薄膜及其激光感生的热电电压效应

采用脉冲激光沉积(PLD)法在倾斜Al2O3(0001)衬底上制备了Bi2Sr2Co2Oδ(BSCO)系列热电薄膜, 发现该类薄膜中有激光感生热电电压(LITV)效应。X射线衍射(XRD)谱显示Bi2Sr2Co2Oδ热电薄膜沿c轴外延生长。采用标准四探针法测试了Bi2Sr2Co2Oδ热电薄膜的电阻随温度的关系。结果表明所制备的Bi2Sr2Co2Oδ热电薄膜在80～360 K范围内呈半导体导电特性。研究发现, 在倾斜角度分别为10°和15°的倾斜衬底上制备的Bi2Sr2Co2Oδ热电薄膜都存在一个最佳厚度, 在这一厚度下可使激光感生热电电压(LITV)信号的峰值电压达到最大, 分别为 0.4442 V和0.7768 V。可以认为该激光感生热电电压信号是由Bi2Sr2Co2Oδ薄膜面内和面间塞贝克系数张量的各向异性引起的。