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高分子液晶を用いた片側パターン電極による選択的研磨制御 : 第1報, ERスラリーのER効果と研磨特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
高分子液晶を用いた片側パターン電極による選択的研磨制御 : 第1報, ERスラリーのER効果と研磨特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
2005
busi kikuti
junsuke fuziwara
junzi furusou
ryouhei kawamukai
akio inoue
Keywords:
Polishing
Chemical-mechanical planarization
Materials science
Composite material
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