Advantages and disadvantages of TEM sample preparation using the FIB technique; Vor- und Nachteile der TEM-Probenpraeparation mittels FIB

TEM sample preparation using FIB has become an interesting alternative to classical TEM preparation. This article discusses the capabilities and limits of the FIB technique which are based on results from reference documents and in-house investigations. It focuses on the real FIB process because it is the only process which determines the properties of the TEM lamella. This article shows that the FIB technique is a very efficient preparation method which ensures a nearly 100 % rate of success even if a target preparation is made. Various problems in preparation which were initially considered to be limiting factors may be eliminated or at least mitigated by steps that can be introduced easily. The article describes the problems which are still unsettled and sets forth possible ways to remedy them. [German] Die TEM-Probenpraeparation mittels FIB stellt mittlerweile eine interessante Alternative zur klassischen TEM-Praeparation dar. Auf der Grundlage von Ergebnissen aus der Literatur und eigener Untersuchungen werden Moeglichkeiten und Grenzen der FIB-Technik diskutiert. Dabei steht der eigentliche FIB-Prozess im Vordergrund, da nur dieser die Eigenschaften der TEM-Lamelle bestimmt. Es wird gezeigt, dass die FIB-Technik eine sehr effektive Praeparationsmethode darstellt, die selbst bei der Zielpraeparation eine Erfolgsquote von nahezu 100 % garantiert. Verschiedene, zunaechst als limitierende Faktoren angesehene Praeparationsprobleme koennen durch einfach zu realisierende Massnahmen aufgehoben oder zumindest abgeschwaecht werden. Es werden die noch offenen methodische Probleme genannt und moegliche Loesungswege angegeben.